Espectrômetro de massa XBS

de quadrupolorápidode aquisição de dados

Um sistema para monitoramento de múltiplas fontes em aplicações de deposição MBE Fontes de feixes moleculares requerem um controle preciso para o crescimento de filmes finos reprodutíveis com qualidade de produção. O sistema XBS (fonte de feixe cruzado) da Hiden fornece monitoramento in-situ de múltiplas fontes com saída de sinal em tempo real para controle preciso da deposição. O XBS da Hiden é uma ótima ferramenta utilizada na espectrometria de massa de feixe molecular. MBE monitorização e controlo Estudos com feixes moleculares Análise de fonte de feixe múltiplo RGA de alto desempenho Dessorção Estudos de gases de escape Ciclos de cozedura Contaminantes de gases de processo O sistema Hiden XBS RC é um espectrômetro de massa quadrupolar projetado para monitorar várias fontes de feixe simultaneamente, e oferece uma aceitação única do feixe através de um cone de 70°, transversal ao eixo quadrupolar. As aberturas de aceitação dos feixes são configuradas individualmente para cada posição específica da fonte da câmara de processo, fabricadas como elementos plug-in substituíveis para permitir modificações retrospectivas em caso de alteração da câmara. A alta sensibilidade e a rápida aquisição de dados do sistema XBS fornecem sinais para o controle das taxas de crescimento a partir de 0,01 Angstrom por segundo. Alta Sensibilidade, Detecção melhorada de 100% a 5ppb, intervalo de massa até 510 amu Estabilidade a longo prazo melhorada (menos de ±0,5% de variação de altura em 24 h) Fonte de íons de feixe transversal, aceitação do feixe através de +/- 35° para eixo transversal Controle de fonte de íons para ionização suave e espectrometria de massa com potencial de aparência Sensibilidade aprimorada para alta transmissão de massa, alinhamento automático da escala de massa Abertura de aceitação de feixe de 2mm - configurada para aplicação específica do usuário Maior resistência à contaminação através do estágio de pré-filtro somente de RF