Sonda de Langmuir ESPion

de potencial de plasmapara espectrômetrosautomática

Uma sonda Langmuir avançada para diagnóstico de plasma A monitorização de rotina da característica de plasma I-V pela sonda Hiden ESPion fornece informações directas relacionadas com a estabilidade e reprodutibilidade do plasma. A extrapolação automática em tempo real dos parâmetros do plasma fornece informações detalhadas sobre as propriedades do plasma para utilização na caracterização e monitorização da uniformidade. Caracterização do plasma Gravura por plasma e ALE HiPIMS Revestimento de carbono tipo diamante (DLC) Revestimentos por deposição por laser pulsado (PLD) Deposição por Magnetrão DC de películas de SiBCN O sistema ESPion utiliza Orbital Motion Limited (OML) e Allen Boyd Reynolds (ABR) como modelos padrão de análise de plasma. O Z-drive automático Hiden permite medições espacialmente resolvidas em todo o volume do plasma. As opções de translação padrão do Z-drive são: 300, 600 e 900 mm. taxa de aquisição de 15 varrimentos por segundo com interface D-O-E para análises automáticas, semi ou manuais A Hiden é pioneira na compensação passiva de RF O ESPion tem a impedância de bloqueio mais elevada de qualquer unidade disponível no mercado 4.25MOhm a 13,56 MHz cf. 100kOhm Cadeia multiindutora arrefecida a gás para funcionamento com plasma a alta temperatura A cadeia multiindutora arrefecida a gás é substituível pelo utilizador para sintonização noutras frequências A sonda de referência compensa os efeitos de baixa frequência por exemplo, deslocação do potencial do plasma (por exemplo, paredes anodizadas da câmara) ou ruído (por exemplo, fonte de alimentação) ESPion as especificações de plasma pulsado mais rápidas de qualquer sonda comercial O ESPionSoft contém todos os circuitos de gating necessários como padrão opções de accionamento linear automático de 300, 600 ou 915 mm Válvula de isolamento interbloqueada, sondas de 90°, opções de accionamentos combinados lineares e rotativos disponíveis Ciclo de auto-limpeza para limitar a contaminação da ponta da sonda