Microscópio eletrônico NE4000

para análisesde emissão de campo frioCCD

O Hitachi NE4000 nanoEBAC é um sistema de sondagem baseado em feixe de electrões para caraterização eléctrica e análise EBAC e imagiologia de interligações, materiais e componentes de dispositivos microelectrónicos. A técnica de corrente absorvida por feixe de electrões (EBAC) oferece um método rápido e eficaz para identificar circuitos abertos, alta resistência e curto-circuitos ao longo das interligações sem técnicas de sondagem direta de camadas de nível inferior. A técnica EBAC é realizada com o feixe de electrões, passando através das camadas dieléctricas até à camada de metalização de nível inferior, de modo a absorver a corrente do feixe de electrões. A tensão de aceleração do feixe de electrões do FESEM controla a profundidade de sondagem ou o nível de penetração através das camadas dieléctricas. Uma única sonda é colocada na metalização exposta da camada superior para completar o circuito e permitir que os electrões fluam através da interligação. A observação de alta resistência e curtos-circuitos devido ao efeito Seebeck é possível utilizando sondas duplas juntamente com os amplificadores EBAC diferenciais patenteados pela Hitachi. Design de fácil utilização - GUI (Graphical User Interface) intuitivo com várias funções de processamento de imagem e cor. - O posicionamento preciso das sondas é realizado por um sistema de câmara CCD integrado na câmara. Qualidade de imagem superior - Fornece imagens EBAC de alta qualidade com os amplificadores EBAC de alto desempenho patenteados pela Hitachi.