Vista geral
A série de GA-360E/F360E é uma formação das unidades que fornecem a monitoração sensível, altamente exata, contínua ultrahigh de quantidades de traço de impurezas contidas nos gás (N2, O2, ele, AR, H2, e ar) usados no processo de manufactura do semicondutor. Utilizando um método da cruz-modulação, as unidades da série GA-360E/F360 não têm nenhuma tração zero devido à análise simultânea do gás zero e da comparação de tempo ordinária e oferecem valores a longo prazo, estáveis da medida. Uma cremalheira de 19 polegadas faz para o melhoramento fácil dos sistemas. Os analisadores da série GA-360E/F360 são poço - serido para o uso em instalações de produção do gás do semicondutor.
Literatura do produto da série de GA-360E
Características
As unidades são equipadas com uma função máxima do dois-componente dentro da capacidade da análise do um-componente para o CO, o CO2, e o CH4 e são capazes da indicação digital simultânea das concentrações de dois componentes.
As unidades usam um método da cruz-modulação e não têm nenhuma tração zero, desse modo fornecer a longo prazo, valores estáveis, contínuos da exposição.
A eliminação da necessidade para o ajuste do sistema ótico faz para a manutenção fácil.
Uma função do self-monitoring para o volume de fluxo (pressão), o motor do interruptor inversor (válvula eletromagnética), o alarme de incêndio acidental (GA-360E), e sistemas de alarme elétricos da fonte fornece usuários os alertas rápidos a todas as irregularidades.
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