Elipsômetro espectroscópico UVISEL 2 VUV

O VUV de UVISEL 2 é uma geração do ne de ellipsometer da modulação de fase para a medida do VUV. É o ellipsometer espectroscópica principal disponível, pretendido transportar as medidas as mais rápidas do filme fino sobre a escala de comprimento de onda a mais grande, de 147 a 2100 nanômetro. O VUV de UVISEL 2 é uma metade e um ellipsometer da metade, ajuste para trabalhar em 2 modos, sob o nitrogênio ou o vácuo essencial. Seu esboço mecânico é melhorado para a baixa utilização do nitrogênio para baixo a 6l/min, e considera a carga rápida da amostra. A opção de oito tamanhos de ponto é perfeita para a medida mínima da área e uma câmara prontamente disponível na parte dianteira faz a amostra que carrega extremamente apropriado. Incorpora fontes dobro da vitalidade do poder superior, sistema ótico alto da taxa de transferência, um modulador flexível da fotografia Caf2 e dois monocromador avançados. O VUV de UVISEL 2 dá a sensibilidade alta em comprimentos de onda do VUV.