Sensor de oxigênio dissolvido digital HD-960LR

de processo

Expandindo a Compatibilidade com Produtos Químicos e Contribuindo para uma Maior Taxa de Rendimento na Fabricação de Semicondutores A HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. desenvolveu e iniciou as vendas do HD-960LR, um novo monitor de oxigênio dissolvido para fabricantes de semicondutores e equipamentos de fabricação de semicondutores, em 1 de julho de 2021. A recente miniaturização e desempenho aprimorado dos semicondutores está diversificando os produtos químicos usados no processo de fabricação de semicondutores, cada um dos quais requer gerenciamento adequado. Este novo monitor de oxigênio dissolvido monitora continuamente o conteúdo de oxigênio dissolvido de produtos químicos com grande precisão no processo de fabricação de semicondutores. A adição de um novo mecanismo de sensor interno pode suprimir a degradação do eletrólito e até ampliar a compatibilidade com água amônia e solventes orgânicos específicos. Além disso, a adoção deste novo mecanismo realizou o ciclo de substituição de sensores de primeira classe da indústria, de aproximadamente um ano. O HD-960LR estende a vida útil do sensor aproximadamente 1,3 vezes para água ultra pura e 70 vezes para água de amoníaco em comparação com nossos produtos convencionais. Um intervalo mais longo entre as substituições de sensores ajuda a aumentar a eficiência operacional. O Grupo HORIBA continuará a responder às amplas necessidades dos clientes para contribuir para uma maior taxa de rendimento na fabricação de semicondutores. Mesmo o nível de contaminação do nanômetro no processo de fabricação de semicondutores tem o potencial de causar mau funcionamento do semicondutor.