Medidor de vazão mássica termal D500 series

de pressão diferencialde massapara gás

Este módulo de caudal mássico insensível à pressão de ponta é instalado com deteção de pressão diferencial e uma válvula de atuador piezoelétrico. O elevado nível de desempenho proporcionado pelo CRITERION D500 garante a sua utilização numa série de processos avançados de fabrico de semicondutores; insensível à pressão, multi-gama/multi-gás/multi-pressão, função de auto-diagnóstico G-LIFE (verificação da lei dos gases da equação do restritor de caudal integrado), elevada exatidão, resposta rápida, vasta gama e totalmente em metal. Desempenho insensível à pressão Uma nova função insensível à pressão de elevado desempenho proporciona um sistema simplificado de fornecimento de gás Solução multi-gama, multi-gás e multi-pressão As novas funções permitem ao utilizador alterar o tipo de gás, o caudal em escala real e a gama de pressão de alimentação Função de auto-diagnóstico G-LIFE (verificação da lei do gás da equação do limitador de caudal integrado) A função avançada de monitorização do estado do processo permite que os operadores efectuem os seus próprios testes, normalmente em três segundos ou menos, para melhorar o rendimento Elevada precisão A precisão do caudal do gás de processo foi melhorada com um ajuste tridimensional avançado Resposta rápida Resposta: < 0,8 segundos É possível obter um controlo de caudal preciso e estável Gama dinâmica Ampla gama de controlo: 0.2% F.S. a 100% F.S. "Recentemente, com o aumento da aplicação de um dispositivo semicondutor de acordo com a IoT, as fábricas de semicondutores mais recentes estão a concentrar-se em minimizar o tempo de inatividade do aparelho. Por conseguinte, para efeitos de pré-deteção de falhas das ferramentas de semicondutores e dos seus componentes, os parâmetros geridos do processo de semicondutores são aumentados e as suas especificações são cada vez mais rigorosas.