Evaporador térmico LSC

de processopara líquidos

O sistema de cozedura mais vendido da HORIBA foi desenvolvido para satisfazer as exigências das indústrias de alta tecnologia actuais. Sem a necessidade de um gás de transporte, o sistema pode fornecer vaporização estável de materiais como TEOS (a uma taxa de 600 SCCM) e H2O (a uma taxa de 2 SLM). Para facilitar o acesso, toda a manutenção do dispositivo pode ser efectuada a partir da parte frontal da unidade. Características Gaseificação de alta taxa de fluxo O LSC-A100 proporciona uma gaseificação estável de materiais como TEOS 600SCCM e H2O 2SLM Toda a manutenção do dispositivo pode ser efectuada na parte frontal da unidade Um PDA tipo PocketPC opcional pode ser utilizado para monitorizar as condições de funcionamento do LSC e para gravar e analisar os registos de funcionamento.