Controlador de pressão de gás GR-300

A série GR-300 pode controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás das bolachas que são fixadas em posição por um sistema de mandril eletrostático. A estabilidade e a precisão do GR-300 tornam-no ideal para controlar o fluxo de hélio e árgon em sistemas de arrefecimento de bolachas. Controlo da pressão com mais estabilidade e precisão Sensor de caudal mássico (opção) Compatível com vários encaixes Conformidade com RoHS No exemplo abaixo, a Série GR-300 está a controlar os gases utilizados para arrefecer a parte de trás dos wafers que são fixados na posição por um sistema de mandril eletrostático.