Controlador de Fluxo de Massa Insensível à Pressão
A série SEC-Z700X está equipada com sensores térmicos fiáveis e uma função insensível à pressão para um controlo estável do caudal. A medição de pressão integrada reduz o custo, o tamanho e a complexidade dos sistemas de fornecimento de gás.
Insensível à pressão
Uma nova função de alto desempenho proporciona um sistema simplificado de fornecimento de gás. As linhas de gás típicas de várias câmaras têm um regulador de linha, um sensor de pressão e um filtro para evitar o fenómeno de diafonia do controlador de fluxo de massa causado por flutuações de pressão. A série SEC-Z700X demonstra uma elevada estabilidade e controla o caudal de gás sem afectar as flutuações de pressão a montante e a jusante. São fornecidas leituras de caudal, temperatura e pressão.
CARACTERÍSTICAS
Função Multi-Gás / Multi-Faixa
O tipo de gás e o caudal à escala total podem ser alterados pelo cliente
A função PID variável proporciona uma resposta de alta velocidade (no espaço de 1 segundo) em toda a gama de caudais
Linha de gás compacta
Não há necessidade de um regulador, transdutor e filtro
Controlo estável do caudal de gás sem efeito das flutuações de pressão a montante e a jusante
Sensor de pressão de entrada integrado
Ecrã múltiplo a bordo
Garantia 1% Set Point de alta precisão
Design ultra limpo - diafragma metálico, totalmente em aço inoxidável SUS-316L e tratamento de superfície polido (padrão).
Tamanho compacto
Mesma dimensão de encaixe para encaixe até 50 SLM
Compatibilidade do sinal
Modelo digital analógico/RS485, modelo DeviceNet
Função de rede
Controlado por sinal digital.
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