Equipamento de monitoramento de gases IR-400

O IR-400 oferece monitorização em tempo real do ponto final de limpeza da câmara durante o processo de deposição. Ao otimizar o processo de limpeza, o IR-400 reduz o tempo de limpeza e a utilização de gás. Esta redução na utilização de gás de limpeza leva a uma redução dos danos na câmara e aumenta o tempo de vida útil de todos os componentes do sistema. Monitorização multigás (suporta SiF4 e CF4) (IR-422) Alta sensibilidade Função de aquecimento da célula de gás até 180 dec.C Ecrã múltiplo Comunicação analógica/digital. Benefícios da monitorização do ponto final em tempo real com o IR-400 Reduzir o tempo de limpeza da câmara Reduzir a utilização de gases de limpeza Processo de limpeza repetível e previsível Vida útil mais longa dos componentes da câmara Fiável e de elevado desempenho Absorciometria de infravermelhos não dispersiva (NDIR) O método de absorciometria por infravermelhos utilizado pela série IR-300 utiliza o princípio da absorção, pelas moléculas de gás, da luz infravermelha emitida por uma fonte de luz infravermelha. Uma saída de amostra de uma amostra que absorveu o gás que está a ser medido é comparada com uma saída de referência sem absorção, e o resultado é convertido numa concentração de gás. A utilização deste método de feixe duplo permite obter resultados de medição estáveis e a longo prazo. O sistema ótico é constituído por uma fonte de luz, uma célula de gás e detectores de feixe duplo. A estabilidade do detetor de feixe duplo foi comprovada ao longo de mais de 40 anos.