Medidor de vazão mássica termal D700MG

de massapara gásdigital

Os processos críticos de fabrico de semicondutores exigem continuamente dispositivos de controlo do fluxo de gás de precisão que permitam tanto a inovação futura como a transição do laboratório para a fábrica de dispositivos lógicos e de memória de ponta. A HORIBA propõe o novo MFC D700MG baseado em pressão, o modelo compatível superior do D500MG para apoiar os desafios do cliente. Características Mudança de configuração de gás e escala completa na ferramenta *Somente EtherCAT Proporciona flexibilidade para a otimização do processo resposta de aumento de 100 ms e controlo de desvio MFC para MFC Proporciona alta produtividade e maior desempenho do processo Funcionalidade MRMG para caudais pequenos (Bin101 - Bin105) Proporciona flexibilidade ao processo que requer um caudal reduzido Melhor fecho da válvula e resistência à corrosão pelo bocal PFA A robustez com menor risco de partículas reduz o tempo de paragem e optimiza o rendimento Função de monitorização do estado Fornece mais dados internos para uma previsão de falhas mais inteligente Itens de saída da função de monitorização do estado Contagens de ajuste zero do caudal/pressão Contagens de acionamento da válvula Registo da pressão máxima/minuto P0,P1,P2 Registo da temperatura máxima/minuto do bloco Tempo total acima/abaixo da pressão especificada Tempo total acima/abaixo da temperatura especificada. Tempo total de trabalho Tempo total de controlo Tempo total de fluxo (por instância de calibração) Caudal total (por instância de calibração)