Medidor de vazão mássica termal SEC-Z700S

de massapara gáscompacto

A série SEC-Z700S está equipada com novos sensores térmicos desenvolvidos e uma função insensível à pressão para um controlo estável do caudal. A medição de pressão integrada reduz o custo, o tamanho e a complexidade dos sistemas de fornecimento de gás. Uma nova função de alto desempenho proporciona um sistema simplificado de fornecimento de gás. As linhas de gás típicas de várias câmaras têm um regulador de linha, um sensor de pressão e um filtro para evitar o fenómeno de diafonia do controlador de fluxo de massa causado por flutuações de pressão. A série SEC-Z700S demonstra uma elevada estabilidade e controla o caudal de gás sem afectar as flutuações de pressão a montante e a jusante. São fornecidas leituras de caudal, temperatura e pressão. Características básicas Função Multi-Gás / Multi-Faixa. O tipo de gás e o caudal à escala total podem ser alterados pelo cliente Controlo estável do caudal de gás sem efeito das flutuações de pressão a montante e a jusante Ecrã múltiplo integrado Design ultra limpo - membrana metálica, totalmente em aço inoxidável SUS-316L e tratamento de superfície polido (padrão) Tamanho compacto Mesma dimensão de encaixe para encaixe até 50 SLM Compatibilidade de sinais: EtherCAT, DeviceNet Modelo Características principais Garantia 1% Set Point de alta precisão (caudal ≥5%) Elevada repetibilidade (≤±0,15% do ponto de ajuste/caudal ≥5%) Controlo de gama ampla (0,5-100% da escala completa) Resposta sintonizável (300ms≦t≦1000ms) Alta temperatura de operação (15-60 ℃) Desempenho de vazamento de assento baixo (≤0.1% da escala completa / Bin # 01- # 06) Design de alta resistência à corrosão