O FS-3000 combina o controlador de caudal mássico (MFC) da HORIBA STEC e o MuCube (controlador principal). Ao controlar o MFC a partir do MuCube equipado com o algoritmo de controlo proprietário da HORIBA STEC, o FS-3000 consegue um controlo estável da separação.
O algoritmo de controlo realiza um controlo estável da divisão do caudal através do controlo dos rácios do caudal, enquanto controla a pressão do fluxo superior do FS-3000 utilizando a tecnologia de optimização de controlo original da HORIBA STEC. Além disso, mesmo quando os rácios de divisão são alterados, o algoritmo de controlo realiza uma resposta de alta velocidade à divisão do caudal.
Melhorar a expansibilidade e o desempenho da manutenção O FS-3000 suporta a divisão de até 15 canais de fluxo através do processamento de sinal de alta velocidade. Quando o MFC falha, o FS-3000 pode ser reparado simplesmente substituindo apenas o escravo com falha.
Resposta flexível às especificações necessárias O FS-3000 suporta uma vasta gama de gases, incluindo gases mistos. Além disso, o FS-3000 suporta RS-485, DeviceNet como interfaces de utilizador.
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