Medidor de vazão mássica termal D700uF

de massapara gásem PFA

O D700uF (Micro Flow) foi concebido para aplicações de caudal ≤ 5SCCM. o controlo de caudal ≤ 5SCCM tem sido muito crítico em processos de elevado rácio de aspeto Os componentes especializados e o padrão de baixo fluxo recentemente desenvolvido internamente permitem um controlo de fluxo de alta precisão até 0,025SCCM. Capacidade de controlo do caudal até 0,025SCCM Controlo preciso do gás de afinação, melhorando a capacidade de afinação do processo ≤ 100ms Step-up Response e controlo do desvio MFC-to-MFC Proporciona alta produtividade e maior desempenho do processo Metrologia de caudal interna Desempenho fiável de todos os produtos fabricados Função de monitorização do estado Fornece mais dados internos para uma previsão de falhas mais inteligente Melhor fecho da válvula e resistência à corrosão através do bocal de PFA A robustez com menor risco de partículas reduz o tempo de paragem e optimiza o rendimento