O D700T é o módulo de caudal mássico insensível à pressão com melhor desempenho, concebido para processos críticos de fabrico de semicondutores. O D700T adaptou a tecnologia de medição e controlo de caudal baseada na pressão HORIBA CRITERION para proporcionar um desempenho repetível e preciso líder na indústria. Além disso, a singularidade do D700T é a utilização de um algoritmo de controlo de caudal avançado patenteado com uma estrutura de válvula dupla que permite que o sistema de fornecimento de gás do cliente resolva vários desafios.
≤ Tempo de estabilização rápido de 100 mseg em toda a linha (Set to Set, Step up e Step down)
Desempenho insensível à pressão de entrada e de saída
Deteção avançada de falhas para diagnosticar deslocação do sensor de pressão, fuga na sede da válvula e alteração da precisão do caudal
Repetibilidade dentro de 0,15 %S.P
A melhor especificação de exatidão está dentro de 0,45 %S.P.* (Padrão: 0,8 %S.P.)
Gama de temperaturas de funcionamento mais alargada (15-60 °C)
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