Espelho côncavo SHARPeR

de alta precisão

SHARPeR é um projecto Eurostars que visa desenvolver uma nova plataforma de metrologia automatizada de alta precisão para componentes ópticos de qualidade extremamente elevada necessários, por exemplo, em linhas de luz síncrotron, sistemas litográficos EUV e telescópios. Os espelhos de raios X com escala de medição serão caracterizados com uma precisão de erro de inclinação superior a 50nrad rms. O sistema incluirá três elementos principais: - Uma plataforma de movimento altamente estável e repetível com estágios de rotação e inclinação da ponta - Um sensor de frente de onda de alta precisão com uma precisão absoluta de λ/1000 rms - Um algoritmo de costura avançado para resultados de alta precisão O novo sensor de frente de onda Shack-Hartmann de altíssima precisão está integrado numa cabeça óptica acoplada a uma plataforma de movimento dedicada para fornecer mapas 2D de inclinação/altura. A superfície sob teste pode ser orientada horizontalmente ou verticalmente para corresponder à configuração realmente utilizada. Os clientes podem especificar tanto as faixas de deslocamento longitudinal (direção de varredura) quanto as transversais para expandir a faixa de área de caracterização. Opcionalmente, os eixos de rotação e inclinação da ponta podem ser adicionados ao sistema de movimento. Isto permite ao utilizador inverter automaticamente o componente óptico em teste sem perturbar o ambiente de medição através de interferência manual.