Sistema de metrologia para wafers MESO™

para semicondutores

Solução de metrologia MESO O sistema de metrologia MESO é uma solução única para muitos desafios na metrologia ótica. As medições de chão de fábrica garantem testes de controlo de qualidade e controlo de processos in situ das suas ópticas planas mesmo junto à linha de fabrico. Um instrumento único permite efetuar medições em vários comprimentos de onda diferentes, sem ablações cromáticas, e caraterizar toda a gama da sua ótica sem perda de resolução. O MESO™ está repleto de inovação: - Alta resolução de deteção de frente de onda melhorada por LIFT - Procedimento pendente de patente POP para o teste de ópticas paralelas planas (finas) - A tecnologia proprietária Spot Tracker™ fornece uma medição absoluta da inclinação e da frente de onda. CARACTERÍSTICAS PRINCIPAIS Insensível a vibrações Teste de comprimento de onda no momento do projeto Insensível a reflexões da superfície posterior da amostra APLICAÇÕES O MESO é a ferramenta de teste perfeita para o controlo de: Ópticas paralelas Ecrãs Filtros, dicróicas Espelhos Separadores de feixes Janelas Substratos Cubos de canto Cristais Barras, discos Bolachas de vidro Ecrãs Superfícies maquinadas Para-brisas Prismas Lentes grandes Sistemas ópticos Expansores de feixe pRINCIPAIS ESPECIFICAÇÕES do sistema de metrologia MESO Integração horizontal ou vertical Zoom ótico de 1,5'' (38,1mm) até 6'' (152mm) Comprimento de onda de teste de 405 nm a 820 nm resolução de 680 x 500 pontos de fase tempo mínimo de aquisição de 27us ESPECIFICAÇÕES PRINCIPAIS Controlo por interface de ecrã tátil Os procedimentos de teste guiados guiam o utilizador através de todos os passos Controlo automatizado de até 4 comprimentos de onda incorporados Controlo automatizado do diâmetro do teste Relatório de ensaio automatizado completo Conformidade com a norma ISO10110 Exportação de dados multiformato