Analisador com um único sensor Semion

para reator de plasmade processode campo retardado

O Semion Single Sensor é um Analisador de Energia de Campo de Retardo (RFEA). Ele é colocado em qualquer local dentro de um reator de plasma e mede a energia dos íons que atingem uma superfície usando um único sensor de medição. Este analisador de campo de retardo (RFA) é um diagnóstico de plasma fundamental para medir a função de distribuição de energia iônica e também mede o fluxo iônico, íons negativos, temperatura e tensão de polarização (Vdc). O sistema Semion permite a monitorização de processos in situ, confirmação de modelos, desenvolvimento de novos processos e aplicações de investigação em tempo real na localização do substrato. O Semion, às vezes chamado de analisador de potencial de retardo, mede a energia iônica e produz a função de distribuição de energia iônica (IEDF), fluxo iônico, íons negativos, temperatura e Vdc na posição do substrato dentro de um reator de plasma. O analisador de energia de campo de retardo Semion (RFEA) é amplamente utilizado em muitos setores da indústria e da pesquisa, como gravura de plasma, revestimentos, pulverização de plasma, PECVD e feixe de íons. O Semion Single Sensor é o principal instrumento de diagnóstico de plasma que pode confirmar modelos, ajudar no desenvolvimento de novos processos e experimentos que usam plasma, projeto de ferramentas de plasma e pesquisa de plasma. O analisador de energia de campo de retardo de sensor único Semion consiste em um sensor de sonda de botão substituível montado em um suporte de sensor que se conecta a uma passagem de vácuo que é alimentada por uma unidade eletrônica montada em rack de 19".