Instrumento de caracterização com um único sensor Vertex

de plasmade distribuição de energia iônica

O Vertex Single Sensor mede a distribuição de energia do íon em função da razão de aspecto que atinge uma superfície dentro de um reator de plasma. Este instrumento único de caracterização de plasma também pode medir a energia iónica, o fluxo iónico e a tensão de polarização. O ângulo dos iões que atingem o fundo de uma característica pode ser determinado a partir da distribuição de energia iónica em função do formato que permite aos utilizadores monitorizar a qualidade do perfil etch num determinado local do reactor de plasma. O Vertex Single Sensor mede a distribuição de energia iónica em função da razão de aspecto, energia iónica, fluxo iónico, iões negativos e Vdc numa superfície dentro de um plasma. O Vertex Single Sensor é cada vez mais utilizado em muitas aplicações na indústria e investigação, tais como gravura de plasma, feixes de iões e pulverização catódica de plasma para caracterização de plasma e análise de interacção de plasma. O sensor único Vertex poupa tempo valioso ao utilizador na confirmação de modelos, no desenvolvimento de novos processos e em experiências que utilizam plasma, design de ferramentas de plasma e investigação de plasma. O sensor único Vertex está alojado em uma unidade eletrônica montada em rack de 19", com passagem a vácuo e um suporte de sensor localizado em qualquer lugar dentro de uma câmara de plasma ou de feixe. A localização pode até ser um eletrodo alimentado por RF ou CC e pode usar um sensor de sonda de botão substituível. A unidade electrónica liga-se a um computador portátil ou a um PC e utiliza o conjunto de software inteligente Vertex. O Vertex Single Sensor tem um número de opções de suporte variando de 50mm a 450mm e dependerá da aplicação dos usuários. Os usuários podem selecionar um sensor de 50 mm e mover fisicamente o sensor para medir em diferentes locais da câmara.