Sistema de medição de razão Quantum

de íons/neutrospara reator de plasma

A microbalança gridded resolvida energia do cristal de quartzo do quantum é um instrumento original para medir a relação dos íons aos pontos mortos que batem uma superfície dentro de um reator do plasma, chamou às vezes o íon fração neutra. Este instrumento do de ponta igualmente mede a taxa de depósito, a energia do íon, o fluxo do íon e a tensão de polarização. A relação entre os pontos mortos e os íons que chegam em uma superfície, seja ele inclinado ou aterrado é agora mensurável por este sistema inovador. O único sensor do quantum mede a fração neutra do íon ou a fração da ionização do fluxo que chegam em uma superfície dentro de um reator do plasma. Igualmente mede a taxa de depósito, a energia do íon, o fluxo do íon e a tensão de polarização em todo o lugar dentro de um reator do plasma. O único sensor do quantum ou a microbalança gridded do cristal de quartzo são amplamente utilizado em muitos setores através da indústria e da pesquisa, tal como o depósito do plasma, os revestimentos, engasgar do plasma, o feixe de PECVD, gravura a água-forte e de íon. O único sensor do quantum fornece a fração da ionização do fluxo, uma medida que seja vital na maioria de aplicações do plasma mas tem sido até agora muito duro de conseguir. As relações da ionização encontram aplicações em pesquisar receitas novas dos processos novos, da confirmação e modelos e podem ser usadas no desenvolvimento das novas ferramentas e dos processos do plasma.