O Langmuir Spatial Probe usa um drive linear automatizado para varrer através de um plasma e fazer medições de parâmetros de plasma em diferentes locais. O perfil espacial do plasma pode ajudar a resolver problemas de uniformidade.
A sonda espacial Langmuir Spatial Probe mede o perfil espacial do plasma como: densidade do plasma, potencial flutuante, potencial do plasma, potencial do íon, densidade de corrente e a função de distribuição de energia eletrônica. Nosso sistema utiliza a teoria de sondas mais atualizada disponível, com base no Orbital Motion Limited e à medida que os regimes de pressão mudam, passando para Allen Boyd Reynolds para contabilizar as colisões.
A Sonda Langmuir equipada com um sistema de acionamento linear ajuda a caracterizar os parâmetros de plasma em diferentes locais dentro de um reator de plasma.
O Langmuir Spatial Probe é o principal instrumento utilizado para medir os parâmetros internos do plasma enquanto utiliza uma unidade linear automatizada para analisar a maior parte do plasma. Os principais parâmetros medidos são a densidade de elétrons, densidade de íons, temperatura de elétrons, potencial de plasma, potencial flutuante e a função de distribuição de energia eletrônica (EEDF). O Langmuir Spatial Probe fornece medições de caracterização de plasma em DC, RF, microondas, plasma contínuo e pulsado. O Langmuir Spatial Probe analisa as trajetórias de íons e elétrons para obter medições precisas dos parâmetros de plasma em uma ampla gama de aplicações de plasma. A sonda espacial Langmuir Spatial Probe é a sonda Langmuir mais rápida e fiável do mundo (resolução de tempo 12,5ns). Além de velocidade e confiabilidade. A sonda Langmuir fornece a análise de dados mais avançada e confiável, totalmente automatizada em tempo real.
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