Sonda de Langmuir Plato Spatial

de densidade de plasma

Plato Spatial Probe é uma ponta de prova de Langmuir para o plasma do depósito. Faz a varredura através do volume de um plasma para medir a uniformidade de parâmetros do plasma em lugar diferentes. Está projetado trabalhar em plasmas do depósito mesmo quando uma camada de isolamento é depositada na superfície da ponta de prova. As medidas dos parâmetros do plasma de Plato Probe tais como a densidade do plasma, a densidade atual do íon e a temperatura do elétron em lugar diferentes através do plasma mesmo quando o plasma tem uma taxa de depósito alta. É agora possível medir a uniformidade de parâmetros do plasma em um plasma que deposita uma camada de isolamento. Plato Spatial Probe vem completo com um sistema de movimentação linear automatizado que meça os parâmetros principais do plasma em lugar diferentes dentro de um reator do plasma. Plato Spatial Probe é a primeira ponta de prova de Langmuir no mercado que pode se operar em um plasma com taxas de depósito altas e chave a seu sucesso é sua capacidade para medir exatamente os parâmetros chaves do plasma com uma camada de isolamento diversos mícrons densamente. O depósito de camadas de isolamento não afeta a precisão da caracterização do plasma da ponta de prova.