A sonda Octiv Poly VI é um sistema de medição de tensão, corrente e fase RF em linha multifrequência. Pode medir múltiplas freqüências fundamentais e seus harmônicos simultaneamente e tem uma precisão de 1% com resolução de tempo de 1μs A sonda VI pode detectar e medir até 5 frequências fundamentais e todos os seus componentes (tensão, corrente, ângulo de fase e harmónicos) ao mesmo tempo.
A sonda VI mede tensão, corrente, fase, impedância e harmónicos e as medições podem ser visualizadas a partir de um PC ou directamente para a unidade do contador.
O sistema Octiv Poly permite aos usuários medir um número de frequências fundamentais e extrair todas as informações harmônicas de cada parâmetro medido simultaneamente.
A Sonda Octiv Poly VI é um sensor de potência e impedância de precisão que normalmente senta-se na unidade pós-combinação. Ele é usado para medir a impedância de carga em aplicações como processos de plasma. Monitora tensão, corrente e fase de múltiplas freqüências fundamentais e seus harmônicos. A sonda Octiv Poly VI é ideal para o monitoramento preciso de sistemas de plasma de dupla e tripla frequência.
O Octiv Poly tem uma faixa de potência de 0 a 12kW e é calibrado em 5 frequências diferentes: 2MHz | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz. O sistema é ágil em termos de frequência e pode detectar outras bandas de frequência.
O Octiv Poly é um sensor de alta precisão, alta resolução e alta velocidade de aquisição de dados combinados. O Octiv Poly é o único sensor de potência e impedância de precisão com micro-segunda de resolução em aplicações pulsadas. O Octiv Poly utiliza tecnologia exclusiva e patenteada de sonda VI, projetada para operação confiável em aplicações simultâneas de multifrequência com ajuste de frequência ágil.
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