Medidor de tensão Octiv Suite 2.0 VI Probe

de corrente CAde impedânciaRF

O diagnóstico de RF do Octiv Suite (Sonda VI) é um sistema de diagnóstico de RF em linha, corrente, fase, harmónicos e plasma. Pode medir todos os parâmetros da potência RF, dividi-los em seus componentes individuais e reconstruir a forma de onda de múltiplas frequências fundamentais simultaneamente. Esse sistema de ponta também pode medir parâmetros de plasma, como fluxo de íons, usando o eletrodo de RF como um sensor. O Octiv Suite é verdadeiramente uma classe própria quando se trata de fornecimento de energia para um reator de plasma. O Octiv Suite mede tensão, corrente, fase, impedância e harmônicos e as medições podem ser vistas de um PC ou diretamente para a unidade do medidor. O sistema de diagnóstico de RF do Octiv Suite (Sonda VI) permite aos usuários medir um número de freqüências fundamentais e extrair todas as informações harmônicas de cada parâmetro medidas simultaneamente enquanto reconstrói várias formas de onda O Octiv Suite é uma tecnologia de ponta única que permite aos cientistas avaliar as complexas interdependências dos parâmetros de RF em áreas como o desempenho de processos de plasma. O Octiv Suite mede e exibe a forma de onda complexa. O software extrai e analisa os principais parâmetros RF, como tensão, corrente e fase de todos os componentes complexos que compõem a forma de onda. O diagnóstico de RF do Octiv Suite (Sonda VI) pode ser usado para diagnosticar parâmetros do plasma, como fluxo iônico, resistência do plasma e impedância não-linear da bainha. O Octiv Suite irá caracterizar uma carga não linear com múltiplas frequências fundamentais, componentes de alta harmônica e intermodulação.