Espectrômetro Moduli | RF Spectrometer

Módulos | Espectrômetro de RF Detecção de falhas não invasivas e monitoramento da integridade da câmara O espectrômetro de RF é um detector de radiofrequência (RF) que monitora diretamente o estado elétrico de um plasma de fora da câmara de plasma. Isto é projetado para detecção de falhas em ferramentas de produção sem a necessidade de um sensor em linha no caminho de RF. Foi comprovado que ele detecta vazamentos de ar, deslocamento de wafer e outras falhas graves de plasma. O espectrômetro de RF é um detector de radiofrequência (RF) que monitora diretamente o estado elétrico de um plasma de fora da câmara de plasma. Isto é projetado para detecção de falhas em ferramentas de produção sem a necessidade de um sensor em linha no caminho de RF. Foi comprovado que ele detecta vazamentos de ar, deslocamento de wafer e outras falhas graves de plasma.