Mesa de coordenadas XY XY-OF-UL-280x280+ACR260UTcom base giratóriade 2 eixosopen frame
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Características
- Orientação
- XY, com base giratória
- Número de eixos
- de 2 eixos
- Outras características
- open frame, para manipulação de wafers
- Curso
280 mm
(11,024 in)- Velocidade
400 mm/s, 800 mm/s
Descrição
os estágios XY-Giratórios do perfil baixo do Abrir-frame projetaram para a manipulação da bolacha e muitas outras aplicações de posicionamento exatas automatizadas em indústrias de transformação do semicondutor. O mecanismo de movimentação XY situado no lado da unidade e o grande centro furo-através da tabela giratória oferecem um acesso unobstruced desobstruído à bolacha de ambos os lados.
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OPEN FRAME XY-ROTARY SYSTEMS
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