Mesa de coordenadas com base giratória XY-OF-UL-350x350+ACR335UT
XYde 2 eixosopen frame

mesa de coordenadas com base giratória
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Características

Orientação
XY, com base giratória
Número de eixos
de 2 eixos
Outras características
open frame, para manipulação de wafers
Curso

350 mm
(13,78 in)

Velocidade

400 mm/s, 800 mm/s

Descrição

os estágios XY-Giratórios do perfil baixo do Abrir-frame projetaram para a manipulação da bolacha e muitas outras aplicações de posicionamento exatas automatizadas em indústrias de transformação do semicondutor. O mecanismo de movimentação XY situado no lado da unidade e o grande centro furo-através da tabela giratória oferecem um acesso unobstruced desobstruído à bolacha de ambos os lados.

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