Mesa de coordenadas XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTcom base giratóriacom servomotor linearpara manipulação de wafers
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Características
- Orientação
- XY, com base giratória
- Tipo
- com servomotor linear
- Outras características
- para manipulação de wafers
- Curso
10 mm
(0,394 in)- Velocidade
200 mm/s
Descrição
XY-Rotary estágios com motores lineares e motores de torque direto projetados com perfil baixo para manuseio de wafer e muitas outras aplicações automatizadas de posicionamento preciso em indústrias de fabricação de semicondutores. O acionamento XY com motor linear fornece posicionamento sub-micron XY e o estágio rotativo de acionamento direto garante um desempenho sub-arcsec
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