Esta bomba de distribuição de fluido químico (CFD) é projetada para lidar com líquidos de wafer de pureza aprimorada. Produtos químicos com alta pressão de vapor, como amônia, água e peróxido de hidrogênio, também podem ser transferidos.
A utilização de plásticos fluoro garante uma elevada pureza e uma resistência química superior. O ajuste do comprimento do curso, além disso, com a taxa de curso, cobre uma ampla faixa. A acumulação de partículas é evitada pelas ligações de mangueira PFA.
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