Dispensador de accionamento pneumático - mais adequado ao processo de fabrico de semicondutores para aplicação foto-resistente.
Características da série SB
Alta precisão
O doseador da série SB mede/despende precisamente o fluido químico, tal como o fotorresistente. O volume por dose é muito preciso para assegurar a aplicação da quantidade ideal de fotossensível. A utilização de um aspirador opcional evita o gotejamento do bico de injecção. Quase não há volume morto no fole, pelo que a possibilidade de estagnação da solução é minimizada.
O desenho do cilindro sem vedação e ultra-baixo permite uma dosagem fotossensível de baixa velocidade com menor probabilidade de ficar com ar preso.
Inoxidações/extremidades húmidas fluoradas
As extremidades húmidas em aço inoxidável (SUS304) e flúor (PTFE/PFA) estão disponíveis para diferentes líquidos e asseguram uma boa resistência à corrosão e uma entrega sem contaminação. O mais adequado para a entrega de fotorresistente de alta resolução/pureza.
Desenho leve e compacto
A bomba pode ser montada tanto na direcção vertical como horizontal (excepto SB-4K/-5/-6), permitindo a melhor configuração do sistema e é compacta o suficiente para ser montada num espaço de instalação limitado.
Além disso, está disponível opcionalmente uma rolha mecânica que afina finamente um volume de dosagem e um detector de posição que assegura o movimento correcto do pistão no cilindro.
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