A linha M-2000® de elipsômetros espectroscópicos foi projetada para atender às diversas demandas de caracterização de filmes finos. Um design óptico avançado, ampla faixa espectral e rápida aquisição de dados se combinam em uma ferramenta extremamente poderosa e versátil. A M-2000 oferece tanto velocidade quanto precisão. Nossa tecnologia patenteada RCE combina elipsometria compensadora rotativa com detecção de CCD de alta velocidade para coletar todo o espectro (centenas de comprimentos de onda) em uma fração de segundo com uma ampla gama de configurações. O M-2000 é o primeiro elipsômetro que realmente se destaca em tudo, desde monitoramento in-situ e controle de processos até mapeamento de uniformidade de grande área e caracterização de filmes finos para fins gerais. Nenhuma outra tecnologia de elipsômetro adquire um espectro completo mais rápido.
Tecnologia Avançada de Elipsómetro
A M-2000 utiliza a nossa tecnologia patenteada RCE (elipsómetro compensador rotativo) para obter alta precisão e precisão.
Detecção Espectral Rápida
O design RCE é compatível com a detecção avançada e comprovada de CCD para medir TODOS os comprimentos de onda simultaneamente.
Ampla faixa espectral
Recolha mais de 700 comprimentos de onda do ultravioleta para o infravermelho próximo - tudo simultaneamente.
Integração Flexível do Sistema
Com design óptico modular, a M-2000 é adequada para fixação directa à sua câmara de processo ou configurada em qualquer uma das nossas bases de mesa.
Precisão
O design avançado garante medições precisas de elipsometria para qualquer amostra.
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