Elipsômetro espectroscópico VASE series

O VASE® é um elipsômetro preciso e versátil para pesquisa em todos os tipos de materiais: semicondutores, dielétricos, polímeros, metais, multicamadas, e muito mais. Ele combina alta precisão e precisão com uma ampla faixa espectral - até 193 a 3200nm. Comprimento de onda e ângulo de incidência variáveis permitem capacidades de medição flexíveis, inclusive: - Elipsometria de Reflexão e Transmissão - Elipsometria generalizada (Anisotropia, Retardamento, Birefringência) - Intensidade de Reflectância (R) e Transmitância (T) - R/T polimerizado cruzado - Despolarização - Scatterometry - Mueller-matrix Precisão Máxima dos Dados O VASE possui uma elipse analisadora rotativa (RAE) combinada com o nosso AutoRetarder® patenteado para uma precisão de dados inigualável. Seleção de Comprimento de Onda de Alta Precisão O monocromador de varredura é projetado especificamente para elipsometria espectroscópica. Ele otimiza a velocidade, a precisão do comprimento de onda e o rendimento da luz, enquanto controla automaticamente a seleção dos comprimentos de onda e a resolução espectral. Medidas Flexíveis O VASE possui uma montagem vertical da amostra para acomodar uma grande variedade de geometrias de medição, incluindo reflexão, transmissão e dispersão. Tecnologia AutoRetarder Elipsômetros Analisadores Rotativos (RAE) maximizam a precisão dos dados perto da condição "Brewster" - onde os dados em Ψ/Δ são ricos em conteúdo. No entanto, esta região pode ser limitadora para amostras com sinal reduzido. O AutoRetarder patenteado é uma placa de onda controlada por computador que modifica a polarização do feixe de luz antes que ele chegue à amostra. Isto produz ótimas condições de medição para qualquer amostra - sob quaisquer condições. O AutoRetarder mede com precisão: - Ψ e Δ em toda a gama!