Elipsômetro espectroscópico IR-VASE

O IR-VASE® é o primeiro e único elipsômetro espectroscópico a combinar a sensibilidade química da espectroscopia FTIR com a sensibilidade de película fina da elipsometria espectroscópica. O IR-VASE cobre a ampla faixa espectral de 1,7 a 30 mícrons (333 a 5900 ondenumbers). É utilizado para caracterizar filmes finos e materiais a granel na pesquisa e na indústria. Esta tecnologia em rápido crescimento está encontrando usos nas indústrias de revestimentos ópticos, semicondutores, biológicos e químicos, assim como em laboratórios de pesquisa. Ampla faixa espectral Cobertura de infravermelhos próximos a infravermelhos de longe. 1.7 a 30 microns (333 a 5900 ondenumbers) Resolução de 1cm-1 a 64cm-1 Alta Sensibilidade a Filmes Ultra-Finos Os dados da elipsometria espectroscópica contêm informações de "fase" e "amplitude" da luz reflectida ou transmitida. A informação de fase da elipsometria IR oferece maior sensibilidade aos filmes ultrathin do que a reflexão/absorção FTIR, mantendo ao mesmo tempo a sensibilidade à composição química. Caracterização não-destrutiva O IR-VASE oferece medições sem contacto e não destrutivas de muitas propriedades materiais diferentes. As medições não requerem vácuo e podem ser usadas para estudar interfaces líquido/sólido comuns em aplicações de biologia e química. Não é necessária uma linha de base ou amostra de referência A elipsometria é uma técnica de auto-referência que não requer amostras de referência para manter a precisão. As amostras menores do que o diâmetro do feixe podem ser medidas porque o feixe inteiro não precisa ser coletado. Medição Altamente Precisa Procedimentos patenteados de calibração e aquisição de dados, fornecem medições precisas de Ψ e Δ em toda a gama do instrumento.