Elipsômetro espectroscópico VUV-VASE series

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Características

Especificações
espectroscópico

Descrição

O elipsômetro espectroscópico de ângulo variável VUV-VASE® é o padrão ouro para a caracterização óptica de filmes finos litográficos. Ele mede comprimentos de onda do ultravioleta a vácuo (VUV) ao infravermelho próximo (NIR). Isto proporciona uma versatilidade incrível para caracterizar inúmeros materiais: semicondutores, dielétricos, polímeros, metais, multicamadas e líquidos, como fluidos de imersão. Ampla faixa espectral O VUV-VASE cobre comprimentos de onda de menos de 140nm a 1700nm. Alta Precisão Utilizando nosso AutoRetarder® patenteado, o VUV-VASE garante precisão para qualquer medição de amostra. Carregamento Conveniente de Amostras O design especial permite o carregamento rápido e eficiente de amostras sem contaminação do sistema de purga. Proteja as suas amostras O monocromador é colocado antes da amostra para limitar a exposição de materiais fotossensíveis.

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