O iSE é um novo elipsômetro espectroscópico in-situ desenvolvido para o monitoramento em tempo real do processamento de filmes finos. Utilizando nossa tecnologia comprovada, o iSE permite aos usuários otimizar as propriedades ópticas dos filmes depositados, controlar o crescimento do filme com sensibilidade ao sub-angstrom e monitorar a cinética de crescimento.
Poderoso
Com o poder da elipsometria espectroscópica (SE), o iSE é capaz de medir espessura e propriedades ópticas com muito maior certeza do que outras técnicas.
Compacto
O novo design compacto permite uma fácil integração em qualquer câmara.
Versátil
Determina com precisão a espessura e as propriedades ópticas de uma grande variedade de filmes finos, incluindo metais, semicondutores, óxidos, nitretos, e muito mais.
Acessível
O poder da elipsometria espectroscópica a um preço razoável.
Fácil de usar
Interface de fácil utilização para análise em tempo real do crescimento e gravura de filmes finos.
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