O elipsômetro espectroscópico de ângulo variável VUV-VASE® é o padrão ouro para a caracterização óptica de filmes finos litográficos. Ele mede comprimentos de onda do ultravioleta a vácuo (VUV) ao infravermelho próximo (NIR). Isto proporciona uma versatilidade incrível para caracterizar inúmeros materiais: semicondutores, dielétricos, polímeros, metais, multicamadas e líquidos, como fluidos de imersão.
Ampla faixa espectral
O VUV-VASE cobre comprimentos de onda de menos de 140nm a 1700nm.
Alta Precisão
Utilizando nosso AutoRetarder® patenteado, o VUV-VASE garante precisão para qualquer medição de amostra.
Carregamento Conveniente de Amostras
O design especial permite o carregamento rápido e eficiente de amostras sem contaminação do sistema de purga.
Proteja as suas amostras
O monocromador é colocado antes da amostra para limitar a exposição de materiais fotossensíveis.
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