Eixo linear com motor linear

de precisãopara sala limpa

Visão geral Eixo motor linear com princípio de íman móvel (a unidade da bobina com cabeça de medição é fixa e a pista magnética move o carro com um sistema de medição) Para posicionamento de ópticas Exigências Utilização em salas limpas ISO classe 100 - sem abrasão ou desgaste dos cabos Utilização em operação de 3 turnos em 7 dias/semana Precisão mecânica muito alta Estabilidade de temperatura: 22°C ±2° Implementação Um rolamento linear de esferas recirculante comum para todas as corrediças Material da placa base selecionado de acordo com o coeficiente de expansão térmica da guia Construção e acionamentos compensados um do outro - para otimizar o comprimento total Especificação Aceleração: máximo. 3.000 mm/s Velocidade: 400 mm/s Erro de altura por lâmina: ≤1 µm Erro lateral por lâmina: ≤1 µm Erro de altura máxima dos diapositivos um para o outro: 100 µm Erro máximo de rolamento, erro de bocejo, erro de lufting: ≤±100 µrad Stroke: 50 mm (mais possível) Sistema de medição de resolução: 0,05 µm (50 nm) Reprodutibilidade na direção do movimento: <0,5 µm