Eixo linear com motor linear

com servomotorde precisão

O eixo de precisão é um feixe de granito com um eixo de precisão altamente preciso. O sistema completo inclui um servo controlador para vários Fieldbus (EtherCAT, Profinet, CAN, ...). Este eixo é para aplicações de alta precisão, como inspeção de wafer, scanner, medição adequada. - Feixe de granito com um eixo de alta precisão - Sistema completo incluindo servo controlador para vários Fieldbus (EtherCAT, Profinet, CAN, ...) - Para aplicações de alta precisão (inspeção de wafer, digitalização, medição) Exigências - Montagem em toda a superfície da estrutura da máquina - Incluindo cadeia de energia e conjunto de cabos montados - Entrega como um sistema de eixo totalmente montado e comissionado - Precisões garantidas a ±2K de temperatura constante Implementação - Desenvolvido para requisitos específicos do cliente - Motor linear sem ferro com guia de trilho de precisão Velocidade: máx. 500 mm/s Aceleração: máximo. 1 m/s² Reprodutibilidade: 0,5 µm Precisão de posicionamento: 5 µm Resolução de posicionamento: 0,1 µm Repetibilidade (lateral): 5 µm Repetibilidade (altura): 1 µm Carga: máximo. 1 kg