A iluminação da pupila com vários pólos é necessária para alcançar a máxima resolução em sistemas de projecção de máscaras. Os elementos ópticos difractivos (DOE) da Jenoptik produzem eficazmente essas distribuições com elevada precisão e uniformidade, tanto dentro como entre os pólos individuais.
Utilizamos materiais de alta qualidade para todos os nossos elementos difractivos. Isso garante uma longa vida útil, mesmo no caso de irradiação intensa de laser UV.
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