Microscópio eletrônico de varredura (MEV) JSM-IT800 series

para análises3Dde piso

O JSM-IT800 incorpora o nosso "canhão de electrões de emissão de campo Schottky Plus In-lens" para imagens de alta resolução e mapeamento rápido de elementos, e um inovador sistema de controlo ótico de electrões "Neo Engine", bem como um sistema de GUI contínuo "SEM Center" para mapeamento rápido de elementos com um espetrómetro de raios X dispersivos de energia (EDS) da JEOL totalmente integrado, como plataforma comum. O JSM-IT800 permite a substituição da lente objetiva do SEM como um módulo, oferecendo diferentes versões para satisfazer as várias necessidades dos utilizadores. Com o JSM-IT800, estão disponíveis cinco versões com diferentes lentes objectivas: uma versão de lente híbrida (HL), que é um FE-SEM de uso geral; uma versão de lente super-híbrida (SHL/SHLs, duas versões com funções diferentes), que permite uma observação e análise de maior resolução; e a recém-desenvolvida versão semi-in-lens (i/is, duas versões com funções diferentes), que é adequada para a observação de dispositivos semicondutores. Além disso, o JSM-IT800 também pode ser equipado com um novo detetor de electrões retrodispersos de cintilador (SBED) e um detetor versátil de electrões retrodispersos (VBED). O SBED permite a aquisição de imagens com elevada capacidade de resposta e produz um nítido contraste de material, mesmo com uma baixa tensão de aceleração, enquanto o VBED pode ajudar a obter imagens de 3D, topografia e contrastes de material. Assim, o JSM-IT800 pode ajudar os utilizadores a obter informações que não eram possíveis de obter e a resolver problemas de medição.