O robô da série TTS pode aceder a 2 e 3 FOUPs da EFEM sem um trilho. O sistema de acionamento especialmente concebido permite que o robô se mova de forma incrivelmente suave e com elevada precisão. Para além disso, o seu mecanismo telescópico rígido permite um manuseamento a alta velocidade em posições altas e baixas.
A série está em conformidade com a norma SEMI-F47, bem como com a norma SEMI-S2.
Aplicações
Manuseamento de bolachas de silício
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