Sistema de medição de dimensões críticas SpectraShape™ series

dimensionalópticopara circuitos integrados

Sistemas ópticos de medição da dimensão crítica (CD) e da forma O sistema de metrologia dimensional SpectraShape™ 10K é utilizado para caracterizar e monitorizar totalmente as dimensões críticas (CD) e as formas tridimensionais de finFETs, NANDs empilhados verticalmente e outras características complexas em circuitos integrados nos nós de concepção de 1Xnm e posteriores. Utilizando um conjunto diversificado de tecnologias ópticas e algoritmos patenteados, o sistema de medição óptica de CD e de forma SpectraShape 10K fornece informações sobre os parâmetros críticos do dispositivo (dimensão crítica, recesso da porta metálica, recesso de alto k, ângulo da parede lateral, altura da resistência, altura da máscara rígida, passo de deslocamento) para uma vasta gama de aplicações em toda a fábrica de circuitos integrados, desde as primeiras camadas de transístores de ponta até às últimas camadas de interligação. Aplicações Monitor de processo em linha, Controlo de padrões, Expansão da janela do processo, Controlo da janela do processo, Controlo avançado do processo (APC), Análise de engenharia Produtos relacionados AcuShape®: Software de modelação avançado que interpreta os sinais dos sistemas SpectraShape, ajudando a acelerar o processo de construção de modelos de formas 3D robustos e utilizáveis. SpectraShape 10K: Sistemas ópticos de metrologia de CD e forma que permitem a medição de características complexas para dispositivos IC de memória avançada e lógica de 1Xnm. SpectraShape 9000: Sistemas de metrologia óptica de CD e de forma que permitem a medição de características complexas para dispositivos IC nos nós de concepção de 20 nm e inferiores.