Máquina de inspeção óptica Archer™ series

para wafer gravadopara a indústria eletrônicade defeitos

Sistemas de metrologia de sobreposição O sistema de metrologia de sobreposição Archer™ 750 fornece feedback preciso do erro de sobreposição no produto para rampas rápidas de tecnologia e produção estável de dispositivos lógicos e de memória de ponta. A capacidade de sintonização do comprimento de onda com resolução de 10 nm fornece medições de erro de sobreposição precisas e robustas na presença de variações do processo de produção. Com níveis de produtividade normalmente vistos apenas com sistemas baseados em dispersão, o sistema de sobreposição baseado em imagens Archer 750 suporta uma maior amostragem para correcções de scanner de ordem elevada e um elevado rendimento para monitorização em linha. Algoritmos avançados e um novo design de alvo de sobreposição rAIM® produzem uma correlação melhorada entre os erros de sobreposição do alvo e do dispositivo, ajudando os litógrafos a acompanhar com precisão o desempenho da sobreposição do dispositivo. Aplicações Controlo de sobreposição no produto, Monitorização em linha, Qualificação do scanner, Controlo de moldagem