Sistema de medição óptico Therma-Probe® 680XP

Sistemas de metrologia de implantes O sistema de metrologia de implante iónico/cozimento Therma-Probe® 680XP permite a monitorização da dose em linha para os nós de design 2Xnm/1Xnm. O Therma-Probe 680XP produz informações críticas do processo sobre a dose e o perfil do implante de iões, a uniformidade do implante e do recozimento e os danos no fim do intervalo. Para além disso, os mapas de micro uniformidade de alta resolução do sistema Therma-Probe 680XP fornecem uma capacidade de impressão digital para o desenvolvimento de processos de implante e recozimento. Aplicações Monitor de processos, Monitor de ferramentas