Máquina de inspeção óptica Candela® 8420

de superfíciede defeitosautomática

O Candela 8420 é um sistema de inspeção de defeitos de superfície que utiliza a deteção multicanal e a classificação de defeitos com base em regras para proporcionar a deteção de partículas e riscos em bolachas opacas, translúcidas e transparentes, tais como Arsenieto de Gálio (GaAs), Fosforeto de Índio (InP), Tantalato de Lítio, Niobato de Lítio, vidro, safira e outros materiais semicondutores compostos. O sistema de inspeção de defeitos de superfície 8420 utiliza uma arquitetura OSA (analisador ótico de superfície) patenteada para medir simultaneamente a intensidade da dispersão, as variações topográficas, a refletividade da superfície e a mudança de fase para a deteção e classificação automáticas de uma vasta gama de defeitos de interesse (DOI). A cobertura total da superfície é conseguida em minutos, com o sistema de inspeção de defeitos de superfície Candela 8420 a produzir imagens de alta resolução e relatórios de inspeção automatizados com classificação de defeitos e mapas de bolachas. O sistema de inspeção de bolachas Candela 8420 permite a análise da superfície, incluindo a deteção de defeitos e partículas em bolachas opacas, translúcidas e transparentes, incluindo vidro, safira polida de um lado (SSP), safira polida de dois lados (DSP); sliplines; buracos e saliências de arsenieto de gálio (GaAs) e fosforeto de índio (InP); mapeamento da uniformidade da superfície tipo neblina; e defeitos em tantalato de lítio (LiTaO2), niobato de lítio (LiNbO3) e outros materiais avançados. O sistema de inspeção de superfícies 8420 é utilizado para o controlo de processos de semicondutores compostos (limpeza de bolachas, pré e pós-epitaxia) utilizando a inspeção de defeitos. A sua conceção avançada de múltiplos canais oferece uma sensibilidade melhorada em relação às tecnologias de canal único.