Sistema de monitoramento de temperatura Process Probe™ 1530/1535de mediçãoem tempo real
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Características
- Tipo
- de temperatura
- Aplicações
- de medição
- Outras características
- em tempo real
Descrição
As bolachas instrumentadas Process Probe™ 1530 e 1535 são utilizadas para monitorizar as temperaturas in situ para uma vasta gama de processos, incluindo parede fria, RTP, pulverização catódica, CVD, decapantes de plasma e reactores epitaxiais. As sondas de processo 1530 e 1535 fornecem uma medição direta e em tempo real da temperatura da bolacha durante cada etapa crítica do ciclo do processo. Com esses dados abrangentes de temperatura, os engenheiros de processo podem caraterizar e ajustar as condições do processo, melhorando o desempenho do equipamento de processo, a qualidade da pastilha e o rendimento.
Aplicações
Desenvolvimento de processos, Qualificação de processos, Qualificação de ferramentas de processo, Correspondência de ferramentas de processo
Câmaras de processo de película fina de parede fria (1530), Câmaras de processo de película fina de parede quente (1535) | 0-1100°C
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