Sistema de monitoramento de temperatura Process Probe™ 1730

para controle de processo

Os wafers instrumentados Process Probe™ 1730 permitem uma caraterização precisa in situ dos perfis de temperatura dos wafers em sistemas de rastreio de fotorresiste, sistemas de mandris de wafers com controlo de temperatura, aplicações em fornos e aplicações de cozedura por resistência, poliimida e SOG. O Process Probe 1730 ajuda os engenheiros a caraterizar e ajustar as condições do processo para melhorar o desempenho do equipamento do processo para um maior rendimento. Aplicações Desenvolvimento de processos, Qualificação de processos, Qualificação de ferramentas de processo, Correspondência de ferramentas de processo Sistemas de pista de litografia, sistemas de mandris de wafer com temperatura controlada e fornos | -150-300°C