Sistema de inspeção óptico FlashScan®
automáticopara detecção de defeitospara a indústria eletrônica

sistema de inspeção óptico
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Características

Tecnologia
óptico
Modo de funcionamento
automático
Tipo
para detecção de defeitos
Aplicações
para a indústria eletrônica

Descrição

Sistemas de Inspecção de Defeitos de Retículo em Branco O sistema de inspecção de defeitos em branco de máscaras FlashScan® 211 apoia as lojas de máscaras e os fabricantes de blanks no cumprimento dos requisitos de defeitos em branco de máscaras para aplicações de litografia óptica e EUV. O sistema FlashScan 211 alia a sua elevada sensibilidade a uma velocidade de inspecção sem paralelo e a uma disposição automática dos defeitos, reduzindo o tempo de obtenção de resultados para uma vasta gama de aplicações. Aplicações Fabrico de máscaras em branco, Qualificação de máscaras em branco, Controlo de processos de retículos, Monitorização de equipamentos de processos de retículos

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