Profilômetro 3D Tencor™ P-170

com estiletepara medição de rugosidadede bancada

O Tencor P-170 é um perfilador cassete-a-cassete que apresenta o desempenho de medição do sistema de bancada P-17, líder no sector, e o manipulador HRP®-260, com provas dadas na produção. Esta combinação proporciona uma solução de baixo custo de propriedade para um sistema baseado em manipulador que serve as indústrias de semicondutores, semicondutores compostos e indústrias relacionadas. O Tencor P-170 suporta medições 2D e 3D da altura do degrau, rugosidade, arco e tensão para digitalizações até 200 mm sem costura. A excelente estabilidade de medição é conseguida com a combinação do sensor UltraLite®, o controlo de força constante e uma fase de varrimento ultra-plana. A configuração da receita é rápida e fácil com os controlos da plataforma de apontar e clicar, ótica de visualização superior e lateral e uma câmara de alta resolução com zoom ótico. O Tencor P-170 suporta medições 2D e 3D, com uma variedade de algoritmos de filtragem, nivelamento e análise de dados disponíveis para quantificar a topografia da superfície. As medições totalmente automatizadas são conseguidas através do manuseamento automático da bolacha, reconhecimento de padrões, sequenciação e deteção de características. - Altura do passo: Nanómetros a 1000µm - Força reduzida com controlo de força constante: 0,03 a 50mg - Digitalização do diâmetro total da amostra sem costuras - Vídeo: câmara a cores de alta resolução de 5MP - Correção do arco: Elimina o erro devido ao movimento em arco da caneta - Software: Interface de software fácil de utilizar - Capacidade de produção: Totalmente automatizado com sequenciação, reconhecimento de padrões e SECS/GEM - Manipulador de wafer: Carrega automaticamente amostras opacas (por exemplo, silício) e transparentes (por exemplo, safira) de 75 mm a 200 mm Aplicações - Altura do passo: altura do passo 2D e 3D - Textura: rugosidade e ondulação 2D e 3D